En kryopump är en vakuumpump som använder en lågtemperaturyta för att kondensera gas, även känd som en kondensatpump. Kryopumpen kan erhålla ett rent vakuum med den högsta pumphastigheten och det lägsta ultimata trycket och används ofta inom forskning och produktion av halvledare och integrerade kretsar, samt molekylär strålforskning, vakuumbeläggningsutrustning, vakuumytanalysinstrument, jonimplantat och rymdsimulering. enheter etc.
Pumpprincip Kryopumpen är utrustad med en kallplatta kyld till en mycket låg temperatur med flytande helium eller kylskåp. Det kondenserar gasen och håller kondensatets ångtryck under pumpens ultimata tryck för att uppnå pumpeffekten. Huvudfunktionerna för lågtemperaturpumpning är kondens vid låg temperatur, adsorption vid låg temperatur och låg temperaturupptagning.
kryopump
(1) Kondensation vid låg temperatur: gasmolekyler kondenserar på ytan av den kalla plattan eller på det kondenserade gasskiktet, och jämviktstrycket är i princip lika med kondensatets ångtryck. Vid pumpning av väte är kallplattans temperatur lägre.
(2) Adsorption vid låg temperatur: Gasmolekylerna adsorberas på ytan av adsorbenten belagd på den kalla plattan med en tjocklek av ett molekylärt skikt. Jämviktstrycket för adsorption är mycket lägre än ångtrycket vid samma temperatur.
(3) Kryogen fångst: Gasmolekyler som inte kan kondenseras vid extraktionstemperaturen begravs och adsorberas av det växande lagret av kondenserbar gas.