Enligt tillförselmetoden för mediet är kryopumpar indelade i följande typer:
Kryogenpump för lagringstanken: lågtemperaturmedium (flytande helium) injiceras direkt i lagringstanken i pumpen för att kondensera gasen för att uppnå syftet med pumpningen.
Fördelarna med lagringstankens kryopump är att pumpen är liten till storleken, inga vibrationer, inget buller och lätt att använda.
Nackdelen med lagringstankens kryogena pump är att driftskostnaden är hög, användningstiden för varje fyllning av lågtemperaturmediet är kort och vakuumsystemet som behöver arbeta kontinuerligt under lång tid behöver periodiskt fylla på arbetet. medium och begränsas av tillförselförhållandena för lågtemperaturmediet.
Processkryopump: Kryopanelens kylrör i pumpen är anslutet till kylexpandern och det kryogena mediet (gashelium) tillförs kryopumpen genom den yttre rörledningen, absorberar värmen från kryopanelen och går sedan tillbaka till kylkompressorn för att bilda en sluten cykel. Pumpens volym är enorm, rörledningen är komplicerad och kylförlusten i rörledningen är stor.
Fördelen med processkryopumpen är att den har en stor kyleffekt och är mest lämpad för att ta bort atmosfärisk volym eller en stor vakuumkammare.
Kryopump för litet kylskåp: Kryopumpen för ett litet kylskåp med sluten cykel består av en lågtemperaturpumpkropp, en kryopanel för luftutsug, en strålningsskyddande platta, ett kylskåp och en kompressor.
Den största skillnaden mellan den kryogena pumpen i det lilla kylskåpet och den kryogena pumpen i processen är att kylens första och andra kalla huvuden är direkt anslutna till strålningsskärmen och den kalla plattan, och flödet i den anslutande rörledningen mellan kylskåp och kompressor har normal temperatur, hög (eller låg) temperatur. ) trycksatt gasmedium, det finns inget transportproblem av lågtemperaturmedium, och det har fördelarna med processkryopump och lagringstankkryopump. Det är en idealisk ren ultrahögvakuumpump för närvarande.
Kryopumpar för små kylskåp används i stor utsträckning inom tunnfilmsberedning, mikroelektronikteknik, högenergifysik, utrustning för små ringformar och andra industriella områden.