Kryopumpar är uppdelade i två typer: kryopumpar för flytande helium med-insprutning och kryopumpar för kylskåp med sluten-gashelium.
Injektion flytande helium kryopump
Den består huvudsakligen av en behållare för flytande helium, en pumpkropp och en hålighet för flytande kväve ansluten till en baffel. För att minska förbrukningen av flytande helium antar ytterväggen på behållaren för flytande helium en dubbel- värmeisoleringsvägg och evakueras däremellan.
När pumpen förpumpas till Pa-tryck, injiceras flytande kväve och flytande helium och gasen kondenserar på den fungerande kalla plattan på 4,2K. Efter för-pumpning är partialtrycket för helium och väte i storleksordningen Pa, så att pumpen kan uppnå det slutliga trycket under Pa.
Om den flytande heliumbehållaren evakueras och dekomprimeras till 6650 Pa, kan temperaturen på det flytande heliumet sänkas till 2,3K och ett lägre gränstryck kan erhållas.
Sluten gas helium kylskåp kryopump
Det är en ny typ av kryopump som dök upp på 1970-talet. Denna pump förbrukar inte helium, är lätt att använda, lätt att underhålla och används allt mer.
Kylmediet i kylskåpet är gashelium, temperaturen på första-stegets kylplatta är 50-100K och den typiska applikationen är 65K, som används för att kondensera vattenånga och för{{ 4}}kyla andra gaser; temperaturen på den kalla plattan i andra steget är 10-20K, som används för att kondensera kväve, gaser som syre och argon.
Den inre ytan av den sekundära kylplattan är belagd med aktivt kol. Aktivt kol har stark adsorptionsförmåga för helium, neon och väte vid låg temperatur. Den kalla plattan är gjord av syrefri-koppar och ytan är polerad till spegelnivå för att minska emissiviteten.
Pumpens sluttryck är Pa, arbetstrycksintervallet är Pa och för-pumpningstrycket måste vara 1 Pa. Pumphastigheten för den färdiga produkten har nått 60,000 liter /andra. Dessutom, enligt processens egenskaper, kan luftextraktionskallplattan anordnas i den pumpade behållaren, och luftutvinningshastigheten kan nå mer än 106 liter/sekund.
Strukturella egenskaper
Vertikal struktur: lämplig för nedgrävning i marken, den kommer inte att påverkas av motorns heta luft, lufttemperatur och solsken, etc., och det är lätt att hålla kallt; det kan minska pumpens sughöjd, öka påfyllningshuvudet och förbättra den effektiva NPSH; den vertikala strukturen också. Det är fördelaktigt att släppa ut luft, så att upphängningsaxeln har tillräcklig höjd för att underlätta arrangemanget av axeltätningsanordningen, så pumpen kallas också en vertikal cylinderpump.
Symmetrisk struktur: Pumpens övergripande struktur strävar efter att vara symmetriskt anordnad så att den kan deformeras jämnt i kallt tillstånd. Det kalla huvudet använder i allmänhet en två-stegsmekanism, det första steget når 80K och det andra steget når en temperatur på 10K.
Dubbel-lagerskal: För att hålla kallt och underlätta transporten av farliga medier görs det vanligtvis till ett dubbel-lagerskal. Det inre skalet utsätts för pumptryck, och sugtrycket är mellan det inre skalet och det yttre skalet, vilket på lämpligt sätt kan minska det inre skalets hållfasthetskrav. Det yttre skalet måste göras till ett vakuummellanskikt, vilket har uppnått effekten av värmeisolering.